포토레지스트 현상액(CO-D100)

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Introduction

본 제품은 포토레지스터(PR) 공정 후, 배선 형성을 위해 PR현상을 하기 위해 사용되는 약품임.

  • LCD, PDP, Semi. TSP용.
  • 금속 배선에 영향을 주지 않음.
  • 잔사가 없음.

Performance

  • Coating : 300rpm * 3sec  main RPM*10sec , (Use CO-TP100 Positive PR)
  • Pre-bake : 110℃/90sec on hotplate.
  • Exposure : 80mJ/cm2
  • Develop : 60sec Dipping type – CO-D100
  • Measurement : SEM

Quality Spec

항 목 UNIT SPEC 비 고
01. Specific gravity - 1.00 ± 0.05 20℃
02. Content % 2.38 ± 0.02 Titration
03. Copper, Cu ppb Max. 50 ICP-MS
04. Iron, Fe ppb Max. 50 ICP-MS
05. Nickel, Ni ppb Max. 50 ICP-MS
06. Magnesium, Mg ppb Max. 50 ICP-MS
07. Zinc, Zn ppb Max. 50 ICP-MS
08. Cadmium, Cd ppb Max. 50 ICP-MS
09. Mangan, Mn ppb Max. 50 ICP-MS
10. Chromium, Cr ppb Max. 50 ICP-MS
11. Particle pcs/ml < 50 0.3 um

Package and Storage

  • 포장 단위 : 3.8, 20 liter PE bottle, 200 liter HDPE drum
  • 보관 : 직사광선이 없는 건 냉한 공간
  • 유효기간 : 제조일로 부 터 6개월까지 보증

전자Chemical 사업부

  • 상호명세리오협동조합
  • 연락처054-432-8850